Görüntüleme teknolojisinin öncüsü Canon, yeni projeksiyon lensiyle donatılan ve yüksek geçirgenlik ile dayanıklılık sunan FPA-3030i6 yarı iletken litografi sistemini tanıttı. 8 inç (200 mm) ve daha küçük devre levhaları için tasarlanan bu sistem, üretim verimliliğini artırırken pozlama süresini kısaltıyor ve geniş cihaz üretim seçenekleri sunuyor.
Canon’un Yeni i-line Modeli FPA-3030i6 Verimlilik Artışıyla Dikkat Çekiyor
Canon’un yeni i-line modeli FPA-3030i6, özellikle yarı iletken endüstrisinde kullanılan devre levhalarını işlemek üzere geliştirilmiş bir çözüm sunuyor. Sistemde yer alan yüksek geçirgenlikli ve dayanıklı projeksiyon lensi, pozlama süresini azaltırken aynı zamanda lens sapmalarını da önceki stepper modellerine kıyasla %50’den fazla düşürüyor. Yüksek pozlama dozlarına rağmen patern doğruluğunu koruyan bu lens, verimlilik artışıyla dikkat çekiyor.
Pozlama Süresi ve Verimlilik Artıyor
Canon’un geliştirdiği yeni lensin yüksek geçirgenlik seviyesi, pozlama yoğunluğunu artırarak işlem başına gereken süreyi azaltıyor. FPA-3030i6, 8 inç (200 mm) devre levhaları için saatte 130 levha işleme kapasitesi sunarak, önceki stepper modellerine göre (123 levha) önemli bir verimlilik artışı sağlıyor. Ayrıca lensin dayanıklılığı, uzun vadede sistemin verimliliğini korumasını mümkün kılıyor.
FPA-3030i6’da, sistemin NA (sayısal açıklık) aralığı da 0,450,63’ten 0,300,63’e genişletildi. Bu sayede daha küçük bir NA seçeneği, her cihaz katmanı için optimum NA’nın belirlenmesine olanak tanıyor.
Daha Geniş Cihaz Üretim Yelpazesi
FPA-3030i6, silikon (Si) tabakalarının yanı sıra bileşik yarı iletken materyaller olan safir, silikon karbür (SiC), galyum nitrür (GaN) ve galyum arsenit (GaAs) için de işlem seçenekleri sunuyor. Ayrıca Canon, 2 inç (50 mm) ile 8 inç (200 mm) arasında değişen çaplara sahip tabakaların yanı sıra kalın, ince ve eğri tabakaların da işlenmesine olanak tanıyan devre levhası besleme seçeneklerini geliştirdi.
